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本发明涉及一种用于控制或者调节真空阀的方法，所述真空阀包括带有阀孔（２）的阀体（１）、闭锁元件（３）、用于调整所述闭锁元件（３）的执行器（５）以及控制装置（９），借助于所述控制装置来触发所述执行器（５）并且由该控制装置来设定在所述闭锁元件（...
该专利属于ＶＡＴ控股公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＶＡＴ控股公司授权不得商用。

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