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本发明公开了一种用于纠正硅片位置偏移的检测系统及其检测方法，涉及硅片位置偏移检测技术领域，该用于纠正硅片位置偏移的检测系统，包括载物组件，所述载物组件的外部设置有支撑架，所述支撑架的一端设置有驱动电机，且驱动电机带动载物组件转动，所述支撑架...
该专利属于青岛芯微半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛芯微半导体科技有限公司授权不得商用。

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