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本发明公开了一种超高灵敏太赫兹超材料传感器件及制备方法，属于太赫兹超材料生化传感技术领域。结构包括：等离子金膜衬底和超材料图形结构。超材料图形结构沉积于等离子金膜衬底表面，其单元胞由垂直分列谐振器和水平中间连接器构成。垂直分列谐振器由两个金...
该专利属于东莞理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过东莞理工学院授权不得商用。

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