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本申请提供的一种受激辐射的晶圆检测装置，激发光源产生的激发光束经第一照明镜组进行准直、匀光和形状调制后形成均匀的整形光束，整形光束经第二照明镜组进行汇聚产生的汇聚光束能够经光束分离元件和物镜后形成出射光束且照射于晶圆的表面以激发产生荧光，物...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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