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本发明涉及原材料生产设备的复合涂层技术领域，具体为一种碳化硅涂层在超纯颗粒生产设备上的应用，通过CVD法、PVD法或热喷涂法在超纯颗粒生产设备不锈钢基体表面形成碳化硅涂层，并应用于设备核心反应区接触表面，包括反应釜内壁、物料输送管道及精密过...
该专利属于昂士特科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昂士特科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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