温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开的实施例提供了一种离子注入的模拟方法、电子设备和计算机可读存储介质。方法包括：利用待注入的器件的网格单元数据，确定与注入位置相对应的网格单元；基于所确定网格单元处的晶格常数，确定多个晶胞中的原子的位置，多个晶胞包括注入位置处的中心晶胞...
该专利属于全芯智造技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过全芯智造技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。