下载具有颗粒物拦截功能的红外探测器及其制造方法的技术资料

文档序号:46629683

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本发明涉及一种具有颗粒物拦截功能的红外探测器及其制造方法。所述具有颗粒物拦截功能的红外探测器包括:衬底,衬底的正面包括主阵列区域以及围绕主阵列区域的外周分布的外围区域;主微桥结构,位于主阵列区域上,包括主桥墩、连接于主桥墩上的主微桥悬臂梁以...
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