具有颗粒物拦截功能的红外探测器及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种具有颗粒物拦截功能的红外探测器及其制造方法。所述具有颗粒物拦截功能的红外探测器包括：衬底，衬底的正面包括主阵列区域以及围绕主阵列区域的外周分布的外围区域；主微桥结构，位于主阵列区域上，包括主桥墩、连接于主桥墩上的主微桥悬臂梁以及位于衬底上方且与主微桥悬臂梁连接的主微桥桥面；拦截微桥结构，位于外围区域上，包括拦截桥墩、连接于拦截桥墩上的拦截微桥悬臂梁、位于衬底上方且与拦截微桥悬臂梁连接的拦截微桥桥面以及位于拦截微桥桥面上的黏附层，黏附层用于黏附颗粒物。本发明专利技术能够在维持气密性封装的前提下，从根本上解决主微桥结构易受颗粒物冲击而失效的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微光机电，尤其涉及一种具有颗粒物拦截功能的红外探测器及其制造方法。

技术介绍

1、随着红外探测技术在军事侦察、安防监控、工业检测及医疗诊断等领域的广泛应用，红外探测器正朝着高灵敏度、微型化和高可靠性的方向快速发展。其中基于微机电系统（mems）工艺制备的微桥式红外探测器因其优异的红外响应特性，已成为非制冷红外探测器的核心技术路线。该类红外探测器通过在硅基衬底上构建悬空式微桥结构，利用桥面材料的热敏特性实现红外辐射的高效探测。然而，微桥结构的机械脆弱性使其在封装及服役过程中面临严峻的可靠性挑战。

2、在现有封装工艺中，探测器芯片需要通过晶圆级封装或金属管壳封装实现气密性保护，但受限于工艺环境洁净度、助焊剂残留及材料热应力等因素，封装腔体内易引入微小颗粒污染物。这些游离颗粒物在后续振动冲击测试中会产生高速运动，对微桥结构造成致命损伤。更严重的是，微粒在腔体内的多次反弹会形成连续冲击效应，使探测器像元阵列出现大面积失效。

3、当前行业普遍采用的解决方案主要集中在封装前清洁工艺的优化，包括高纯氮气吹扫、激光清洗等手段。但这些方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，所述主微桥结构还包括悬于所述衬底上方且与所述主微桥悬臂梁连接的主连接桥面以及位于所述主连接桥面上的主连接桥柱，所述主微桥桥面位于所述主连接桥柱背离所述衬底的表面上；

3.根据权利要求2所述的具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，多个所述双层拦截微桥结构环绕所述主阵列区域的外周分布，多个所述单层拦截微桥结构环绕多个所述双层拦截微桥结构的外周分布；或者，

4.根据权利要求3所述的具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，多...

【技术特征摘要】

1.一种具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，所述主微桥结构还包括悬于所述衬底上方且与所述主微桥悬臂梁连接的主连接桥面以及位于所述主连接桥面上的主连接桥柱，所述主微桥桥面位于所述主连接桥柱背离所述衬底的表面上；

3.根据权利要求2所述的具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，多个所述双层拦截微桥结构环绕所述主阵列区域的外周分布，多个所述单层拦截微桥结构环绕多个所述双层拦截微桥结构的外周分布；或者，

4.根据权利要求3所述的具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，多个所述主微桥结构沿平行于所述衬底的正面的方向呈阵列排布；

5.根据权利要求3所述的具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，所述拦截连接桥柱高于所述主连接桥柱。

6.根据权利要求1所述的具有颗粒物拦截功能的红外探测器，其特征在于，所述拦截微桥结构为单层拦截微桥结...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱良山，范延军，吴高军，姜骥，姜利军，
申请(专利权)人：浙江大立科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：