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本发明提供一种探针及其加工方法，包括：探针MEMS加工方法，基底选择步骤：选取硅基底或金属基底，并在基底表面形成牺牲层；图形化步骤：通过光刻工艺在基底上形成探针结构图案；探针预结构成形步骤：依次采用深硅刻蚀和金属蚀刻以实现探针预结构加工；功...
该专利属于美博科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美博科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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