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用于与流体相互作用的微电子机械装置，其具有排挤器结构，该排挤器结构布置在空腔中，其中，该排挤器结构具有可运动的薄片，该薄片可偏转地构造用于与空腔的压力区域中的流体压力相互作用，其中，该薄片具有至少一个边缘区域，其中，当薄片偏转时，薄片的边缘...
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