下载用于选择性蚀刻钛的化学蚀刻溶液及方法的技术资料

文档序号:46626342

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本发明涉及一种用于化学蚀刻钛基材料的化学蚀刻溶液,所述溶液包含:‑26重量%至39重量%的过氧化氢;‑1重量%至6重量%的磷酸三钾(K3PO4);‑0.015重量%至0.2重量%的选自二亚乙基三胺五(亚甲基膦酸)(DTPMP)、氨基三(亚甲...
该专利属于法国技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过法国技术公司授权不得商用。

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