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一种太阳能电池的制备方法,包括:对硅基底制绒,硅基底包括第一表面和第二表面;硅基底进行硼扩散和高温氧化;去除硅基底的侧边和第二表面的硼扩散层和BSG;在硅基底的第二表面沉积隧穿氧化层及掺杂多晶硅层;去除硅基底的第一表面和侧面的PSG等;在硅...该专利属于拉普拉斯新能源科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉普拉斯新能源科技股份有限公司授权不得商用。
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一种太阳能电池的制备方法,包括:对硅基底制绒,硅基底包括第一表面和第二表面;硅基底进行硼扩散和高温氧化;去除硅基底的侧边和第二表面的硼扩散层和BSG;在硅基底的第二表面沉积隧穿氧化层及掺杂多晶硅层;去除硅基底的第一表面和侧面的PSG等;在硅...