下载具有嵌入式光子桥管芯的半导体器件和制造具有嵌入式光子桥管芯的半导体器件的方法的技术资料

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具有嵌入式光子桥管芯的半导体器件和制造具有嵌入式光子桥管芯的半导体器件的方法。一种半导体器件具有包括光子电路的桥管芯。光学环氧树脂沉积在光子电路上方。桥管芯设置在第一互连结构上方。密封剂沉积在桥管芯和第一互连结构上方。密封剂的一部分被移除以...
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