下载化学源容器和反应系统的技术资料

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公开了一种用于容纳液体化学前体的化学容器,其包括液位传感器管。液位传感器管配置为在液体化学前体被加热到沸点或蒸发点的环境中操作。液位传感器管包括壳体,该壳体具有内置的狭槽,以防止设置在液位传感器管内的传感器的任何错误读数。液位传感器管可以由...
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