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氮化硅粉末制造技术
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文档序号:46625186
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本发明提供外观的色调为白色、黑度得到抑制的氮化硅粉末。本发明的氮化硅粉末,包含氮化硅、未氮化的硅以及氧,其中氮化硅粉末中的未氮化的硅的质量比率RSi相对于氮化硅粉末中的氧的质量比率RO的比率(RSi/RO)为0.19以下。...
该专利属于电化株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过电化株式会社授权不得商用。
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