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传感器模块制造技术
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文档序号:46625180
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本发明涉及传感器模块。传感器模块具有:第一惯性传感器器件组,具备彼此具有相同朝向的检测轴的第一惯性传感器器件、第二惯性传感器器件和第三惯性传感器器件;以及基座,具备配置有所述第一惯性传感器器件的第一载置面、与所述第一载置面平行且配置有所述第...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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