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本发明提供一种化学机械研磨用组合物及研磨方法，可对具有氧化硅膜的被研磨面以高速进行研磨，并且可减少研磨后的表面缺陷的产生，且可抑制起泡的产生。本发明的化学机械研磨用组合物是含有(A)二氧化硅粒子、(B)选自由有机酸、硝酸、硫酸及磷酸所组成的...
该专利属于JSR株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过JSR株式会社授权不得商用。

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