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压力传感器制造技术
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文档序号:46624809
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本发明提供能够防止噪声对信号处理电路以及压力检测元件的影响的压力传感器,其具备压力检测元件、将配置有压力检测元件的液封室和与液封室面对面的压力室分隔的金属制的膜片、与压力检测元件电连接的输入输出端子组、绝缘部件、包括与膜片、绝缘部件一起形成...
该专利属于株式会社鹭宫制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社鹭宫制作所授权不得商用。
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