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本申请公开了一种多晶硅膜的制备方法，包括：步骤一、将晶圆装入炉管中，此时炉管内充满氮气，温度为第一温度；步骤二、持续对炉管内通入氮气，对晶圆进行升温预热，炉管内温度设定为第二温度；步骤三、持续对炉管内通入氮气，对晶圆进行降温，炉管内温度设定...
该专利属于江苏卓胜微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏卓胜微电子股份有限公司授权不得商用。

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