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本发明实施例提供一种体声波谐振器及其形成方法、相关设备，所述体声波谐振器包括第一衬底，依次堆叠在所述第一衬底上的第一电极、压电层、第二电极和第二衬底；其中，所述第一衬底和所述第一电极之间具有第一空腔，所述第二衬底与所述第二电极之间具有第二空...
该专利属于北京芯溪半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京芯溪半导体科技有限公司授权不得商用。

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