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一种光伏半导体拉晶中的液面调温方法及相关装置制造方法及图纸
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下载一种光伏半导体拉晶中的液面调温方法及相关装置的技术资料
文档序号:46624007
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本申请公开一种光伏半导体拉晶中的液面调温方法及相关装置,涉及半导体和光伏晶棒制造领域,所述方法包括:获取第一、第二参数组;在预调温工步,基于第一参数组中的设备运行参数,将光伏拉晶设备控制为与预调温工步适配的状态;并基于第一参数组中的灰度参数...
该专利属于保定景欣智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过保定景欣智能科技有限公司授权不得商用。
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