【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体和光伏晶棒制造领域，尤其涉及一种光伏半导体拉晶中的液面调温方法及相关装置。
技术介绍
1、在单晶直拉法过程中，化料完成或者提出晶棒后，需要进行调温工步，目的是将拉晶炉内液面温度调整到适合引晶的温度，整个过程需要功率的调整，相关技术中通用的方法是使用相机检测液面固定区域的灰度，将检测的当前灰度值与设定灰度做对比，根据对比结果对炉内热场加热功率进行调整。
2、相关技术中，设定灰度为单一值，然而无法用单一值兼容单晶直拉法过程中不同工艺的多种调温方法，无法兼容更多的工艺路线，只能通过经常/频繁修改参数(设定灰度)来解决该问题，导致需要现场员工不停的修改参数，对生产把控要求较高，也即对现场员工的技能水平存在高要求，同时存在工作量高、效率低等问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种光伏半导体拉晶中的液面调温方法及相关装置，用于兼容单晶直拉法过程中不同工艺的多种调温方法，兼容更多的工艺路线，以减少现场员工的工作量，降低对员工的技能水平要求，达到点击一键进入工序后，不...
【技术保护点】
1.一种光伏半导体拉晶中的液面调温方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光伏半导体拉晶中的液面调温方法，其特征在于，基于所述第一参数组中的设备运行参数，将光伏拉晶设备控制为与所述预调温工步适配的运行状态，包括：
3.根据权利要求1所述的光伏半导体拉晶中的液面调温方法，其特征在于，基于拉晶炉内液面灰度和所述第一参数组中的灰度参数，对拉晶炉内液面温度进行调节控制，包括：
4.根据权利要求1所述的光伏半导体拉晶中的液面调温方法，其特征在于，基于拉晶炉内液面灰度和所述第二参数组中的灰度参数，对拉晶炉内液面温度进行调节控制，包括：
5.根...
【技术特征摘要】
1.一种光伏半导体拉晶中的液面调温方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光伏半导体拉晶中的液面调温方法，其特征在于，基于所述第一参数组中的设备运行参数，将光伏拉晶设备控制为与所述预调温工步适配的运行状态，包括：
3.根据权利要求1所述的光伏半导体拉晶中的液面调温方法，其特征在于，基于拉晶炉内液面灰度和所述第一参数组中的灰度参数，对拉晶炉内液面温度进行调节控制，包括：
4.根据权利要求1所述的光伏半导体拉晶中的液面调温方法，其特征在于，基于拉晶炉内液面灰度和所述第二参数组中的灰度参数，对拉晶炉内液面温度进行调节控制，包括：
5.根据权利要求4所述的光伏半导体拉晶中的液面调温方法，其特征在于，基于拉晶炉内液面灰度和所述第二参...
【专利技术属性】
技术研发人员：方志奇，郑庆红，张康，
申请(专利权)人：保定景欣智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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