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本发明公开了一种基于石英基片的太赫兹频段多模滤波器的制备方法，所属领域为半导体滤波领域，包括：基于石英基片为SIW结构的太赫兹频段多模滤波器，将要采用的石英基片的尺寸类型有超薄石英,厚度分别为10μm、30μm、75μm、100μm的石英基...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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