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本发明提供了一种小型化抛光装置及其控制系统，属于智能控制技术领域，包括：缺陷定位模块，用于基于显微镜对晶圆表面进行全面扫描以定位和标记缺陷区域；抛光液配制模块，用于根据缺陷区域的缺陷类型控制各储料罐释放相应物料进行混合配制；小型化抛光执行模...
该专利属于北京利研科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京利研科技有限公司授权不得商用。

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