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直描式曝光装置制造方法及图纸
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下载直描式曝光装置的技术资料
文档序号:46622135
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本发明提供一种能够以简单的构造实现低成本化并且能够以高生产率执行曝光工艺的直描式曝光装置。作为工件载置部的载物台(3)连结有多个,通过转圈机构(21)沿着环状的环绕路转圈。在到达载置作业位置的载物台(3)上装载机(4)载置未曝光的工件W,在...
该专利属于株式会社阿迪泰克工程所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社阿迪泰克工程授权不得商用。
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