下载一种氧化镍薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:46621009

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本发明涉及二维磁性材料制备技术领域,公开一种氧化镍薄膜及其制备方法。所述制备方法包括以下步骤:将氯化镍水合物前驱体置于管式炉的加热区;将衬底悬置于所述前驱体上方;将所述管式炉内温度在15‑25min内升温至生长温度,并保温3‑10min,再...
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