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本发明提供一种化学机械研磨工艺模型测试图形结构及建模方法，化学机械研磨工艺模型测试图形结构包括单一测试图形单元，单一测试图形单元包括一测试图形，测试图形具有预定线宽和预定间距；梯度差异测试图形单元，包括至少两个梯度差异测试图形组，每个梯度差...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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