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本申请提供一种光罩最适拆膜温度计算及粘合剂清洗方法，定义光罩与保护膜之间的粘合剂的剥离力在预设温度下与拆膜温度呈线性关系，预设温度介于20℃～200℃，常温对应的剥离力为初始剥离力，当剥离力为初始剥离力的2/3时，得到拆膜温度为最适拆膜温度...
该专利属于青岛方益技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛方益技术有限公司授权不得商用。

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