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本技术涉及芯片制作相关设备技术领域，公开一种精洗池，包括第一清洗池和与其相连的第二清洗池，第一清洗池内包括运输辊、振子、防溢辊轮和挡板，第二清洗池包括防溢辊轮、挡板、二流体和轨道传送带，防溢辊轮分别位于第一清洗池和第二清洗池的两侧，振子位于...
该专利属于芯朋半导体科技（如东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯朋半导体科技（如东）有限公司授权不得商用。

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