下载电磁场仿真验证方法及电磁场仿真方法的技术资料

文档序号:46616490

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本发明公开了一种电磁场仿真验证方法及电磁场仿真方法,属于半导体技术领域,该电磁场仿真验证方法,包括导入含有待仿真工艺平台中所有金属层信息的版图结构文件;导入待仿真工艺平台所需验证的工艺文件,所述工艺文件中定义有若干需要仿真的目标金属层;通过...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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