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一种MEMS太赫兹多排过孔基片集成波导滤波器，包括：高阻硅介质、设置于其上下两侧的金属层、设置于上金属层上的若干过孔、一对信号线、感性耦合结构，其中：所有过孔组成内外嵌套的谐振腔结构且与下金属层相连，感性耦合结构位于谐振腔结构内，信号线分别...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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