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本技术公开了硅片用烘干槽，包括槽体，所述槽体内设置有热风管，所述槽体顶部开设有供硅片进出的开口，所述槽体顶部且位于开口的两侧分别设置有移动轨一和移动轨二，本技术通过驱动件带动两组密封门向相互远离的方向移动，使得密封门平移打开，得槽体上的开口...
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