硅片用烘干槽制造技术

本技术公开了硅片用烘干槽，包括槽体，所述槽体内设置有热风管，所述槽体顶部开设有供硅片进出的开口，所述槽体顶部且位于开口的两侧分别设置有移动轨一和移动轨二，本技术通过驱动件带动两组密封门向相互远离的方向移动，使得密封门平移打开，得槽体上的开口露出，使得机械臂横移动作和烘干槽上的密封门的开门动作可以同时进行，不会发生相互干涉，使得机械臂横移到位的同时密封门打开到位，机械臂直接取放料，避免了烘干槽门打开时间过久导致内部温降问题，从而能降低烘干槽加热的能耗，同时减少了烘干槽开关门机械动作时间，可以有效的减少该工艺时间，提高硅片生产的产能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片生产，尤其涉及硅片用烘干槽。

技术介绍

1、硅片在生产过程中需要利用清洗机洗完后再利用烘干槽进行烘干，利用机械壁在清洗机和烘干槽之间移动，进行取放料，但是现有的烘干槽开门方向垂直于机械臂运行方向，如图1所示，因此会与移动的机械壁发生相互干涉，因此为了避免发生碰撞，需要先将烘干槽的门完全打开，机械臂再移动，会使得烘干槽门打开时间过久导致内部温降问题，不满足使用需求。

技术实现思路

1、本技术针对现有技术存在的不足，提供如下技术方案：

2、硅片用烘干槽，包括槽体，所述槽体内设置有热风管，所述槽体顶部开设有供硅片进出的开口，所述槽体顶部且位于开口的两侧分别设置有移动轨一和移动轨二，所述移动轨一和移动轨二之间设置有两组向对向移动或向反向移动的密封门，所述移动轨一上设置有出风件，所述出风件与热风管连通设置，所述移动轨二上设置有驱动件，所述驱动件带动两组所述密封门移动将所述开口密封或打开。

3、作为上述技术方案的改进，所述出风件包括内嵌设置于移动轨一上的固定框，所述固定框上开设有供气本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.硅片用烘干槽，其特征在于，包括槽体(10)，所述槽体(10)内设置有热风管(12)，所述槽体(10)顶部开设有供硅片进出的开口(11)，所述槽体(10)顶部且位于开口(11)的两侧分别设置有移动轨一(20)和移动轨二(30)，所述移动轨一(20)和移动轨二(30)之间设置有两组向对向移动或向反向移动的密封门(40)，所述移动轨一(20)上设置有出风件，所述出风件与热风管(12)连通设置，所述移动轨二(30)上设置有驱动件，所述驱动件带动两组所述密封门(40)移动将所述开口(11)密封或打开。

2.根据权利要求1所述的硅片用烘干槽，其特征在于：所述出风件包括内嵌设置于移动轨...

【技术特征摘要】

1.硅片用烘干槽，其特征在于，包括槽体(10)，所述槽体(10)内设置有热风管(12)，所述槽体(10)顶部开设有供硅片进出的开口(11)，所述槽体(10)顶部且位于开口(11)的两侧分别设置有移动轨一(20)和移动轨二(30)，所述移动轨一(20)和移动轨二(30)之间设置有两组向对向移动或向反向移动的密封门(40)，所述移动轨一(20)上设置有出风件，所述出风件与热风管(12)连通设置，所述移动轨二(30)上设置有驱动件，所述驱动件带动两组所述密封门(40)移动将所述开口(11)密封或打开。

2.根据权利要求1所述的硅片用烘干槽，其特征在于：所述出风件包括内嵌设置于移动轨一上的固定框(22)，所述固定框(22)上开设有供气体流出的出风孔(21)，所述固...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志甫，权健忠，栾洪财，
申请(专利权)人：鸿晖新能源安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：