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本申请提供了一种机械手、半导体设备以及机械手的调节方法，涉及半导体技术领域，解决了机械手不能灵活调节吸附部伸出长度的技术问题。机械手包括移动部与固定部，移动部与固定部密封连接；移动部的末端设置有能够吸附基板的吸附端，吸附端上设置有吸附孔，移...
该专利属于江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司授权不得商用。

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