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本技术公开了一种晶圆加工用涂胶装置，包括：涂料组件，所述涂料组件包括旋转吸附台、C形板、涂胶头以及圆形卡槽；气泡消除组件，所述气泡消除组件包括锥形筒、轴杆、第一搅拌杆、第二搅拌杆、第三搅拌杆以及承接杆，所述C形板顶部固定连接承接杆一端，所述...
该专利属于扬州扬杰电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州扬杰电子科技股份有限公司授权不得商用。

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