下载一种可调式多向蚀刻喷头装置的技术资料

文档序号:46612390

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本发明公开了一种可调式多向蚀刻喷头装置,包括蚀刻液储存盒、输液管、泵体、设置在泵体底部的喷头、机台以及设置在机台上的蚀刻台;蚀刻台上设有用于对待蚀刻的工件进行固定的定位槽,泵体通过输液管与蚀刻液储存盒相连接;所述机台的顶部左侧固定安装有竖向...
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