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本发明公开一种面向叠层结构横向刻蚀工艺的仿真方法、装置、设备，面向叠层结构横向刻蚀工艺的仿真方法，包括：确定刻蚀仿真域中衬底的材料类型，其中刻蚀仿真域包括由叠层材料构成的衬底和基于蒙特卡洛方法从刻蚀仿真域顶部入射的粒子；当粒子撞击衬底表面，...
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