【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及刻蚀仿真领域，尤其涉及一种面向叠层结构横向刻蚀工艺的仿真方法、装置、设备。
技术介绍
1、刻蚀工艺的仿真方法目前有以下几种：基于几何拓扑的简单模型，这类模型的准确度较差，无法与实际刻蚀过程完全匹配。基于分子动力学方法的模型，且并不适用于横向选择性刻蚀工艺。
2、因此，在横向选择性刻蚀工艺中，如何实现横向刻蚀工艺的仿真成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种面向叠层结构横向刻蚀工艺的仿真方法、装置、设备，以在横向选择性刻蚀工艺中，实现横向刻蚀工艺的仿真。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种面向叠层结构横向刻蚀工艺的仿真方法，包括：确定刻蚀仿真域中衬底的材料类型，其中，所述刻蚀仿真域包括由叠层材料构成的衬底和基于蒙特卡洛方法从所述刻蚀仿真域顶部入射的粒子；当所述粒子撞击衬底表面，则基于最小二乘法对粒子撞击点对应的衬底表面进行直线拟合，获得拟合直线；根据所述拟合直线的法线与所...
【技术保护点】
1.一种面向叠层结构横向刻蚀工艺的仿真方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定刻蚀仿真域中的衬底材料类型，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述拟合直线的法线与所述粒子的入射运动轨迹之间的夹角，判断所述粒子撞击所述衬底表面是否发生反射，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述拟合直线的法线与所述粒子的入射运动轨迹之间的夹角以及针对所述夹角设置的阈值，确定所述粒子撞击所述衬底表面的反射概率通
【技术特征摘要】
1.一种面向叠层结构横向刻蚀工艺的仿真方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定刻蚀仿真域中的衬底材料类型，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述拟合直线的法线与所述粒子的入射运动轨迹之间的夹角，判断所述粒子撞击所述衬底表面是否发生反射，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述拟合直线的法线与所述粒子的入射运动轨迹之间的夹角以及针对所述夹角设置的阈值，确定所述粒子撞击所述衬底表面的反射概率通过以下公式实现：
【专利技术属性】
技术研发人员：陈睿，呼子义，邵花，葛瑞，余童，冯泽萌，
申请(专利权)人：北京知识产权运营管理有限公司，
类型：发明
国别省市：
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