下载一种远、近场图像及近场相位的测量系统及方法的技术资料

文档序号:46610963

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本申请实施例提供一种远、近场图像及近场相位的测量系统及方法,应用在光学测量技术领域,包括:测量装置对待测物体进行测量,得到待测物体的远场图像和近场图像;运算装置对远场图像和近场图像进行处理,得到泽尼克系数组合,基于泽尼克系数组合得到近场波前...
该专利属于张江国家实验室所有,仅供学习研究参考,未经过张江国家实验室授权不得商用。

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