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防止产生气泡的加热固晶方法技术
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下载防止产生气泡的加热固晶方法的技术资料
文档序号:46610298
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本发明提供一种防止产生气泡的加热固晶方法,包括下列步骤:将液体分布在基板上;晶粒在液体中固定在基板上;对晶粒加热,使得液体蒸发成水蒸气;对晶粒加热加压;以及停止对晶粒加热加压,使得晶粒逐渐冷却并且固定在基板上。借此,液体会附着在基板的表面并...
该专利属于梭特科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过梭特科技股份有限公司授权不得商用。
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