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本申请公开了一种温度传感器及其制备方法，涉及温度传感器技术领域。温度传感器包括衬底、温度敏感膜和电极，所述温度敏感膜设置于所述衬底的一侧，所述电极设置于所述温度敏感膜背离所述衬底的一侧；所述温度敏感膜包括氮化铬薄膜。本申请提供的温度传感器可...
该专利属于重庆大学所有，仅供学习研究参考，未经过重庆大学授权不得商用。

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