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非线性信道制造技术
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文档序号:46601596
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本发明提供了一种包括非线性沟道的finFET。非线性沟道包括限定沟道宽度和沟道长度的一个或多个弧形、弯曲、分段等侧壁。与定向为与栅极宽度正交的线性鳍相比,非线性沟道提供相对增加的沟道长度。因此,非线性沟道的沟道长度可以在栅极的范围内相对增加...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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