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具备：(a)一对喷射装置，其分别向基板供给成膜用气体；(b)一对罐，其与所述一对喷射装置中的各个喷射装置连接并蓄积所述气体；(c)一对开闭阀，其分别控制相互对应的所述喷射装置与所述罐之间的所述气体的流体连通；(d)一对压力计，其测定蓄积所述...
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