下载一种半导体级高导热石墨材料生产反应炉的技术资料

文档序号:46601165

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本发明涉及石墨化炉技术领域,具体地说,涉及一种半导体级高导热石墨材料生产反应炉,包括反应单元和存放单元,反应单元包括炉体、下料机构、排料机构和加热机构,存放单元包括固定连接在炉体内部的框体,框体在炉体内部从上到下竖向排列设置,框体的内壁转动...
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