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本发明公开了一种射频等离子清洗装置，涉及等离子清洗设备技术领域，包括启辉系统、真空系统和控制系统；启辉系统含外壳体、气流调节器、石英空心管及电感驱动线圈；外壳体有内部空腔，气流调节器及石英空心管设于其内，气流调节器可调节气体流量；电感驱动线...
该专利属于浙江祺跃科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江祺跃科技有限公司授权不得商用。

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