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本发明提出了一种半导体检测治具及其使用方法，该治具包括：底座，与竖板连接，沿Y向竖板位于晶圆盒开门组件的前方；钥匙伸缩基准组件，其设置于竖板，其包括可沿Y向移动的钥匙基准轴；及一号千分表测量组件，用于呈现基准值和测量值，其设置于竖板，其包括...
该专利属于上海稷以科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海稷以科技有限公司授权不得商用。

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