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带树脂层的半导体芯片的制造方法及基板层叠体的制造方法技术
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下载带树脂层的半导体芯片的制造方法及基板层叠体的制造方法的技术资料
文档序号:46599265
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一种带树脂层的半导体芯片(20A)的制造方法,其包括:准备包含半导体基板(21)和层叠于半导体基板上的树脂层(23)的层叠体(20)的工序;将层叠体以树脂层露出的方式与切割带(42)贴合的工序;在层叠体的树脂层上形成保护层(33)的工序;通...
该专利属于三井化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三井化学株式会社授权不得商用。
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