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本发明涉及一种基于晶圆检测设备的支撑点替换装置，包括固定台，固定台的顶部形成有圆形定位凹腔，还包括至少个可拆卸的固定在圆形定位凹腔底面边缘并沿圆周方向等角度均匀分布的支撑座；支撑座上朝向圆形定位凹腔圆心的一侧向外形成有三角形延伸段，三角形延...
该专利属于法博思（宁波）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过法博思（宁波）半导体设备有限公司授权不得商用。

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