下载半导体结构的形成方法和光电探测器的技术资料

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一种半导体结构的形成方法和光电探测器,形成方法包括:提供衬底;在衬底上形成氧化层;在氧化层上形成盖层;对氧化层和盖层进行刻蚀处理,在氧化层和盖层内形成开口,开口暴露出衬底的部分表面;在开口内形成初始外延层,初始外延层突出于盖层的表面;以盖层...
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