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一种倒装微型发光二极管的制备方法技术
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文档序号:46597949
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本发明公开了一种倒装微型发光二极管的制备方法,包括如下步骤:提供一衬底,并在所述衬底上制备外延层;其中,所述外延层包括层叠设置的第一n型半导体层、发光层、p型半导体层和导电层;对所述外延层进行刻蚀,以形成第二n型半导体层以及多个间隔设置的主...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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